納米壓痕測(cè)試儀的測(cè)量原理：納米壓入測(cè)試通過計(jì)算機(jī)控制載荷連續(xù)變化，并在線監(jiān)測(cè)壓入深度。一個(gè)完整的壓痕過程包括兩個(gè)步驟，即所謂的加載過程與卸載過程。在加載過程中，給壓頭施加外載荷，使之壓入樣品表面，隨著載荷的增大，壓頭壓入樣品的深度也隨之增加，當(dāng)載荷達(dá)到*大值時(shí)，移除外載，樣品表面會(huì)存在殘留的壓痕痕跡。

該設(shè)備測(cè)試的特點(diǎn)：

（1）試樣制備簡單。測(cè)試一般對(duì)試樣表面粗糙度有特殊要求，對(duì)被測(cè)試樣的形狀尺寸并無特殊要求，壓入深度在微納米尺度，是一種*損測(cè)試方法。

（2）測(cè)量分辨力高。

（3）操作方便。利用載荷-深度曲線，可直接換算得到接觸面積，無需對(duì)殘余壓痕面積進(jìn)行測(cè)定。

（4）測(cè)試內(nèi)容豐富。